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激光精密刻蚀特种设备
激光精密刻蚀特种设备面向平面类及规则曲面类零件精密加工设备,采用超短脉冲激光器作为加工光源,利用超快激光与材料相互作用时极小热效应、超精细的高效冷加工机制,主要针对表面微结构加工、微孔加工、精密切割和高质量刻蚀,可实现金属、非金属和复合材料的高精度微纳加工。
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激光五轴精密制孔设备
激光五轴精密制孔设备面向航空航天、半导体制造、3C电子等领域的超精密制孔/槽需求,开发基于XYZBC五轴机床与xyzαβ五轴扫描振镜的激光制造技术与装备,突破现有激光制孔技术限制,实现无锥度孔、高深径比孔、异型孔、斜方孔等复杂孔/槽的超精密制造。
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激光曲面共形制造设备
激光曲面共形制造设备是一种面向大型复杂曲面的精密加工解决方案,可实现任意复杂曲面、米级工件的微米级结构跨尺度加工。突破了复杂曲面形状焦深局限、异质材料选择性刻蚀精度局限,实现三维自由曲面共形加工,成功应用于我国某型飞机雷达罩生产、飞机蒙皮涂层去除、曲面纹理模具等精密加工领域。
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