产品特点及优势
- 高精度、长行程、大负载摇篮式工作台，适用多种构件尺寸、多种孔型的高精密加工。
- 五轴扫描头提供大幅面的解决方案，可实现大尺寸图案加工。
- 高帧率、高分辨率傍轴观察系统，实现加工结果快速检测，提高制孔良品率。
- 超音速气嘴提供马赫级的气流，有效减小碎屑与熔融物对激光的屏蔽效应。
产品指标
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参数 |
LPD-5L3M-UV |
LPD-5L5M-IR |
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激光波长（nm） |
343 |
1030 ~ 1080 |
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平均功率 |
≤ 30W@200kHz |
≤ 80W@500kHz |
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单脉冲能量（μJ） |
≤ 150 |
≤ 160 |
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脉冲密度（fs） |
~ 600 |
~ 500 |
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光束质量（M2） |
≤ 1.3 |
≤ 1.3 |
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焦距（mm） |
50 |
75 |
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X/Y/Z轴行程（mm）（可定制） |
500 / 500 / 300 |
500 / 500 / 300 |
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X/Y/Z轴重复定位精度（μm）（可定制） |
±1.6 / ±1.0 / ±1.4（带负载） |
± 0.7 |
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A/C轴旋转角度（可定制） |
无AC轴 |
−10° ~ +100°；N × 360° |
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重复精度（可定制） |
无AC轴 |
±2.5″ |
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材料适用性 |
半导体材料，如氧化铝、氮化硅 |
金属材料，如不锈钢、高温合金 |
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加工孔径（μm） |
方孔 ≥ 80 圆孔 ≥ 50 |
圆孔 ≥ 100 |
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加工深径比 |
≤ 10：1 |
≤ 10：1 |
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最大加工轴线角度（°） |
无倾斜孔 |
20 |
加工效果
